Delft, 21 september 2009

MAPPER Lithography ontvangt subsidie van SenterNovem

Delft

MAPPER Lithography - producent van innovatieve lithografiemachines voor de halfgeleiderindustrie - maakt bekend dat het een subsidie krijgt van circa EUR 10 miljoen van SenterNovem, het innovatieagentschap van het Ministerie van Economische Zaken. De subsidie wordt verstrekt in het kader van de High Tech Top Projecten regeling. MAPPER en haar partners zullen het subsidiebedrag besteden aan de verdere ontwikkeling van de beta tool, die aan zal tonen dat de lithografiemachines van MAPPER geschikt zijn voor chipproductie in hogere volumes.

MAPPER Lithography zal de beta tool ontwikkelen met Catena, Technolution, Multin Hittech, Demcon en de TU Delft, die naast toeleverancier ook aandeelhouder in de onderneming zijn. Deze bedrijven hebben ieder hun unieke bijdrage aan de ontwikkeling van de tool op het gebied van MEMS, high speed data processing, optische data transmissie, optica, mechatronica en motion control. Daarnaast werkt MAPPER met tal van aanverwante bedrijven. Door de subsidie zal Nederland zijn vooraanstaande positie in e-beam lithografie verder versterken ten opzichte van concurrerende landen als Japan.

Jaap Bastiaansen, Chief Financial Officer (CFO) van MAPPER Lithography, zegt in een toelichting: “We zijn bijzonder blij met de toekenning van deze subsidie. Het stelt ons in staat om naast het bouwen van machines ook de research-activiteiten te blijven uitvoeren die nodig zijn voor de optimalisatie van de volgende generatie van onze machines in lijn met onze roadmap. We doen dit in samenwerking met de beste technologiebedrijven van Nederland. Het feit dat daarnaast vooraanstaande partijen als TSMC en het internationale Leti consortium reeds onze eerste machines aan het testen zijn, bewijst het toenemende vertrouwen van de markt in onze innovatieve maskerloze lithografietechnologie.“

Het Ministerie van Economische Zaken verleent in het kader van de High Tech Top Projecten regeling in totaal voor EUR 100 miljoen aan subsidies voor vijf strategische R&D projecten. De ontwikkeling van de beta tool door MAPPER is een van deze projecten. Daarnaast is subsidie verleend aan projecten van ASML, NXP, Philips en Océ.

Met de ondersteuning voor High Tech Top Projecten wil minister Maria van der Hoeven van Economische Zaken de hightech industrie steunen zodat bedrijven ondanks de crisis in hun toekomst blijven investeren via strategische R&D projecten. Doel is de internationaal leidende positie van Nederland op deze gebieden verder te versterken, zodat een goede uitgangspositie voor de toekomst van de Nederlandse economie is gewaarborgd.

De technologie van MAPPER

MAPPER ontwikkelt lithografiemachines voor de halfgeleiderindustrie. Deze machines maken gebruik van nieuwe en innovatieve technologie waarmee de chips van de toekomst rendabel geproduceerd kunnen worden. Via maskerloze elektronenlithografie worden met meer dan 10.000 parallelle elektronenbundels patronen van elektrische circuits direct op een zogeheten wafer geschreven, zonder dat daarvoor de kostbare fotomaskers in de tot nu toe gangbare lithografiemachines benodigd zijn.

De gangbare lithografiemachines maken gebruik van fotografische technieken om uiterst kleine elektrische schakelingen, die een oppervlakte van minder dan 1/100e van een menselijke haar hebben, op een siliciumwafer te etsen. Deze machines bevatten een zeer kostbaar masker dat de blauwdruk van de chip bevat. Het patroon daarvan wordt op een lichtgevoelige laag aangebracht (vergelijkbaar met een foto die belicht wordt).

Met de MAPPER-techniek kan de volgende generatie chips op een uiterst economische wijze worden geproduceerd, aangezien de machine het dure masker overbodig maakt en een hoge resolutie combineert met hoge productiviteit.

Over MAPPER Lithography

MAPPER is gevestigd in Delft, nabij de Technische Universiteit Delft, een van de aandeelhouders. MAPPER heeft 170 medewerkers, een mix van jonge, enthousiaste afgestudeerde of gepromoveerde academici en ervaren managers, en het werkt samen met een aantal gekwalificeerde contractanten. Naast de Technische Universiteit Delft heeft MAPPER ook professionele beleggers: Capital-C Ventures (dochter van Parcom), KT Venture Group, Quest for Growth en KBC Private Equity, alsmede particuliere beleggers in high tech waaronder de heer Del Prado, oprichter van ASM International.

Voor meer informatie: