Persberichten · 2007
Delft, 12 september 2007
Doorbraak MAPPER in nieuwe lithografie voor chipproductie
Delft
MAPPER Lithography heeft een belangrijke mijlpaal bereikt in de ontwikkeling van haar innovatieve lithografiemachine voor het produceren van de volgende generatie chips. De onderneming heeft als eerste aangetoond dat met duizenden parallelle elektronenbundels wafers beschreven kunnen worden. Door het gebruik van een duur masker overbodig te maken, heeft MAPPER een belangrijke doorbraak op het gebied van lithografie gerealiseerd. Dit maakt het mogelijk de productiekosten van chips te verminderen en de time-to-market aanzienlijk te verkorten.
Het prototype van MAPPER is in staat om met behulp van parallelle elektronenbundels patronen met een resolutie van 45 nanometer (32 nm generatie) in lak te schrijven. De machine is gebaseerd op twee technologische doorbraken: het gebruik van licht om de elektronenbundels afzonderlijk aan te sturen en het gebruik van MEMS-lensarrays om de parallelle elektronenbundels nauwkeurig te kunnen richten.
Dr. Burn Lin, senior director van de lithografie afdeling bij TSMC in Taiwan, zegt: “Deze prestatie is een belangrijke doorbraak en bewijst dat de multi-bundel aanpak van MAPPER met een laag voltage ook echt werkt. We zullen doorgaan met het onderzoeken of we de technologie van MAPPER kunnen toepassen voor onze geavanceerde productieprocessen.”
Boudewijn Baud, directeur van MAPPER, voegt daaraan toe: “Ons hele team heeft hard gewerkt om deze mijlpaal te bereiken. We kunnen ons nu gaan richten op de toepassing van de technologie op een wafer met een diameter van 300 mm. Daarvoor gaan we het team aanzienlijk uitbreiden.”
De technologie van MAPPER
MAPPER ontwikkelt lithografiemachines voor de halfgeleiderindustrie. Deze machines maken gebruik van nieuwe en innovatieve technologie waarmee de chips van de toekomst rendabel geproduceerd kunnen worden. De machine van MAPPER is een uiterst kostenbesparende manier om de volgende generatie chips te maken, omdat de machine het masker overbodig maakt en een hoge resolutie combineert met hoge productiviteit. De huidige lithografiemachines maken gebruik van fotografische technieken om uiterst kleine elektrische schakelingen, die een oppervlakte van minder dan 1/100e van een menselijke haar hebben, op een siliciumwafer te etsen. Deze huidige machines bevatten een masker dat de blauwdruk van de chip bevat, en het patroon daarvan wordt op een lichtgevoelige laag aangebracht (vergelijkbaar met een foto die belicht wordt).
Over MAPPER Lithography
MAPPER is gevestigd in Delft, nabij de Technische Universiteit Delft, een van de aandeelhouders. Het bedrijf heeft bijna 100 medewerkers, een mengeling van jonge, enthousiaste afgestudeerde of gepromoveerde academici en ervaren managers, en het werkt samen met een aantal gekwalificeerde contractanten.
Naast de Technische Universiteit Delft heeft MAPPER ook professionele beleggers als aandeelhouder: Capital-C Ventures, KT Venture Group, Quest for Growth en KBC Private Equity, en particuliere beleggers.
Voor meer informatie kunt u contact opnemen met:
Bert Jan Kampherbeek, Vice President Market Development
Telefoon 015 - 8880250
Smink, Van der Ploeg & Jongsma
Financiële Communicatie Amstelveen: 020 6478181.